Electron Beam Effects on Oxide Thin Films—Structure and Electrical Property Correlations
Neelisetty, Krishna Kanth 1; Mu, Xiaoke 1; Gutsch, Sebastian; Vahl, Alexander; Molinari, Alan 1; Seggern, Falk von 2; Hansen, Mirko; Scherer, Torsten 3; Zacharias, Margit; Kienle, Lorenz; Chakravadhanula, V. S. Kiran 4; Kübel, Christian
1,4
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 Helmholtz-Institut Ulm (HIU), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1,41 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 Helmholtz-Institut Ulm (HIU), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Helmholtz-Institut Ulm (HIU) Institut für Nanotechnologie (INT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1431-9276, 1435-8115 KITopen-ID: 1000093190 |
| HGF-Programm | 43.22.02 (POF III, LK 01) Nanocatalysis |
| Erschienen in | Microscopy and microanalysis |
| Verlag | Cambridge University Press (CUP) |
| Seiten | 1–9 |
| Vorab online veröffentlicht am | 04.03.2019 |
| Schlagwörter | 2015-014-008134 2015-014-006790 TEM FIB |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |