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Electron Beam Effects on Oxide Thin Films—Structure and Electrical Property Correlations

Neelisetty, Krishna Kanth; Mu, Xiaoke; Gutsch, Sebastian; Vahl, Alexander; Molinari, Alan; von Seggern, Falk; Hansen, Mirko; Scherer, Torsten; Zacharias, Margit; Kienle, Lorenz; Chakravadhanula, VS Kiran; Kübel, Christian

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1017/S1431927619000175
Web of Science
Zitationen: 1
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1431-9276, 1435-8115
KITopen-ID: 1000093190
HGF-Programm 43.22.02 (POF III, LK 01)
Erschienen in Microscopy and microanalysis
Seiten 1–9
Vorab online veröffentlicht am 04.03.2019
Nachgewiesen in Web of Science
Scopus
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