Development of a new wireless SAW-Pirani vacuum sensor with extended range and sensitivity
Toto, Sofia; Brandner, Jürgen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000093267 |
| Veranstaltung | DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie (SKM), Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik (2019), Regensburg, Deutschland, 31.03.2019 – 05.04.2019 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.54(2019) VA 4.1 |