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Development of a new wireless SAW-Pirani vacuum sensor with extended range and sensitivity

Toto, Sofia; Brandner, Jürgen



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seit 10.04.2019
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000093267
Veranstaltung DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie (SKM), Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik (2019), Regensburg, Deutschland, 31.03.2019 – 05.04.2019
Bemerkung zur Veröffentlichung Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.54(2019) VA 4.1
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