Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2072-666X KITopen-ID: 1000094400 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Micromachines |
Verlag | MDPI |
Band | 10 |
Heft | 5 |
Seiten | Article: 292 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Vorab online veröffentlicht am | 29.04.2019 |
Schlagwörter | miniaturization; gas flows in micro scale; measurement and control; integrated micro sensors; advanced measurement technologies |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |