Comparison of hot embossing micro structures with and without ultrasound
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000095032 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 25 |
| Heft | 11 |
| Seiten | 4185-4195 |
| Vorab online veröffentlicht am | 15.05.2019 |
| Schlagwörter | 2015-014-008269 HE |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |