Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550, 1520-8850, 2163-5102 KITopen-ID: 1000095181 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Journal of applied physics |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 125 |
Heft | 17 |
Seiten | Art. Nr.: 173104 |
Vorab online veröffentlicht am | 01.05.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |