Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1943-8206 KITopen-ID: 1000095687 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advances in optics and photonics |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 11 |
Heft | 1 |
Seiten | 135-214 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |