High-throughput thermal replication of transparent fused silica glass
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-2392-7 ISSN: 1605-7422 KITopen-ID: 1000096118 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Microfluidics, BioMEMS, and Medical Microsystems XVII: SPIE Bios, 2-4 February 2019, San Francisco, CA. Ed.: B.L. Gray |
| Veranstaltung | SPIE BiOS (2019), San Francisco, CA, USA, 02.02.2019 – 04.02.2019 |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | Article no: 1087503 |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 10875 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |