Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2469-9950, 2469-9969 KITopen-ID: 1000096431 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review / B |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 99 |
Heft | 21 |
Seiten | Art.Nr. 214101 |
Vorab online veröffentlicht am | 04.06.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |