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Fast Time Resolved Techniques as Key to the Understanding of Energy and Particle Transport in HPPMS-Plasmas

Maszl, Christian; Breilmann, Wolfgang; Berscheid, Lars; Benedikt, Jan; Keudell, Achim von


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/TPS.2014.2330700
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Zitationen: 3
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Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 10.2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0093-3813, 1939-9375
KITopen-ID: 1000096631
Erschienen in IEEE transactions on plasma science
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Band 42
Heft 10
Seiten 2812–2813
Nachgewiesen in Web of Science
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