Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Computational Materials Science (IAM-CMS) Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 06.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0935-9648 KITopen-ID: 1000096775 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced materials |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 31 |
Heft | 26 |
Seiten | Art.Nr. 1807742 |
Vorab online veröffentlicht am | 21.02.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |