Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Analysis (IANA) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 08.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0740-3224, 1520-8540 KITopen-ID: 1000096979 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of the Optical Society of America / B |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 36 |
Heft | 8 |
Seiten | F99-F108 |
Vorab online veröffentlicht am | 24.05.2019 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |
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