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Entwicklung metallischer PVD-Schichten für NiTi-Substrate mit großer Verformbarkeit

Seifried, Fabian

Abstract:
Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt auf dem Beschichten von pseudo-elastischen
Ni50,9Ti49,1-Legierungen mit einer Dicke von 1000 μm, da mit der Schicht die Röntgensichtbarkeit
der NiTi-Legierung gesteigert werden kann. Die abgeschiedenen metallischen
Schichten bestehen hauptsächlich aus den Refraktärmetallen Ta, Nb und Ti und
weisen eine Gesamtschichtdicke von 10 μm auf. Als Beschichtungsverfahren wird das
Magnetron-Hochleitungskathodenzerstäuben in nicht reaktiver Ar-Atmosphäre verwendet.
Die abgeschiedenen metallischen Schichten werden mit Hinblick auf deren Mikrostruktur,
Morphologie und ausgewählte mechanische Eigenschaften untersucht. ... mehr

Abstract (englisch):
In this study, pseudo-elastic Ni50,9Ti49,1 alloy sheets of 1000 μm thickness were coated
with 10 μm thick refractory metal thin films, by non-reactive d.c. magnetron sputtering.
The aim of the deposited thin films is to enhance the radiopacity of the NiTi alloy. These
thin films were characterized with regard to their microstructure, morphology and selected
mechanical properties. Microstructural characterization of the thin films included XRay
Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (REM) und Transmission Electron
Microscopy (TEM) analyses. SEM images show, that the thin films grow in a densely
packed structure with columnar grains. ... mehr

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000097023
Veröffentlicht am 06.08.2019
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2019
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 1000097023
Verlag Karlsruhe
Umfang XXVIII, 251 S.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Prüfungsdatum 22.07.2019
Referent/Betreuer apl. Prof. S. Ulrich
Schlagworte PVD, NiTi, dünne Schichten, Formgedächtnislegierung
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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