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Area scanning method for 3D surface profilometry based on an adaptive confocal microscope

Luo, Ding 1; Taphanel, Miro 1; Claus, D.; Boettcher, T.; Osten, W.; Längle, T.; Beyerer, Jürgen 1
1 Fakultät für Informatik (INFORMATIK), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.optlaseng.2019.105819
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0143-8166, 1873-0302
KITopen-ID: 1000097232
Erschienen in Optics and lasers in engineering
Verlag Elsevier
Band 124
Seiten Art.-Nr.: 105819
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