| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 01.12.2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2041-1723 KITopen-ID: 1000097234 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Nature Communications |
| Verlag | Nature Research |
| Band | 10 |
| Seiten | Art.Nr. 3384 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
| Vorab online veröffentlicht am | 29.07.2019 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Web of Science Dimensions |