Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 01.12.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2041-1723 KITopen-ID: 1000097234 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Nature Communications |
Verlag | Nature Research |
Band | 10 |
Seiten | Art.Nr. 3384 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Vorab online veröffentlicht am | 29.07.2019 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |