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Influence of current density on the adhesion of seedless electrodeposited copper layers on silicon

Goncalves de Cerqueira Lima, F.; Mescheder, U.; Leiste, H.; Müller, C.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2019.07.007
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0257-8972, 1879-3347
KITopen-ID: 1000097243
Erschienen in Surface and coatings technology
Band 375
Seiten 554-564
Schlagworte 2017-018-017-989 LMP
Nachgewiesen in Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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