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Microwave and DC properties of niobium coplanar waveguides with 50-nm linewidth on silicon substrates

Jutzi, W. 1; Wuensch, S. ORCID iD icon 1; Crocoll, E. 1; Neuhaus, M. 1; Scherer, T. A. 1; Weimann, T.; Niemeyer, J.
1 Universität Karlsruhe (TH)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/TASC.2003.813719
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Zitationen: 3
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Zitationen: 3
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Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 06.2003
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1051-8223
KITopen-ID: 1000097701
Erschienen in IEEE transactions on applied superconductivity
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Band 13
Heft 2
Seiten 320–323
Nachgewiesen in Scopus
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