Microwave and DC properties of niobium coplanar waveguides with 50-nm linewidth on silicon substrates
Jutzi, W. 1; Wuensch, S.
1; Crocoll, E. 1; Neuhaus, M. 1; Scherer, T. A. 1; Weimann, T.; Niemeyer, J.
1 Universität Karlsruhe (TH)
1; Crocoll, E. 1; Neuhaus, M. 1; Scherer, T. A. 1; Weimann, T.; Niemeyer, J.1 Universität Karlsruhe (TH)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 06.2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1051-8223 KITopen-ID: 1000097701 |
| Erschienen in | IEEE transactions on applied superconductivity |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Band | 13 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 320–323 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |