| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 06.2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000097703 |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 67-68 |
| Seiten | 363–368 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex |