Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 06.2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000097703 |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 67-68 |
Seiten | 363–368 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |