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Fabrication process for planarization and miniaturization of Josephson Junctions

Merker, Michael; Meckbach, Johannes Maximilian; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000097760
Veranstaltung Tagung Kryoelektronische Bauelemente (Kryo 2012), Freudenstadt, Deutschland, 30.09.2012 – 02.10.2012
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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