Fabrication process for planarization and miniaturization of Josephson Junctions
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000097760 |
| Veranstaltung | Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2012), Freudenstadt, Deutschland, 30.09.2012 – 02.10.2012 |