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Self-Planarized Process for the Fabrication of Josephson Junction Devices

Merker, Michael; Meckbach, Johannes Maximilian; Bühler, Simon; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000097763
Veranstaltung DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie, Fachverband Tiefe Temperaturen (SKM 2013), Regensburg, Deutschland, 10.03.2013 – 15.03.2013
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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