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Self-Planarized Process for the Fabrication of Josephson Junction Devices

Merker, Michael; Meckbach, Johannes Maximilian; Bühler, Simon; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000097763
Veranstaltung Physikertagung Münster 1984 : gemeinsam mit d. Frühjahrstagung Münster 1984 d. Arbeitskreises Festkörperphysik bei d. DPG (AKF 2013), Regensburg, Deutschland, 10.03.2013 – 15.03.2013
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