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Planar multilayer process for Josephson junction devices

Merker, Michael; Meckbach, Johannes Maximilian; Bühler, Simon; Rudolph, Matthias; Ilin, Konstantin; Kölle, Dieter; Kleiner, Reinhold; Siegel, Michael



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000097765
Veranstaltung 14th International Superconductive Electronics Conference (ISEC 2013), Cambridge, MA, USA, 07.07.2013 – 11.07.2013
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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