Planar multilayer process for Josephson junction devices

Merker, Michael; Meckbach, Johannes Maximilian; Bühler, Simon; Rudolph, Matthias; Ilin, Konstantin; Kölle, Dieter; Kleiner, Reinhold; Siegel, Michael

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seit 05.09.2019

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp	Poster
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000097765
Veranstaltung	14th International Superconductive Electronics Conference (ISEC 2013), Cambridge, MA, USA, 07.07.2013 – 11.07.2013