Room temperature deposited NbN/AlN/NbN trilayers on different substrates for Josephson Junctions
Merker, Michael; Bohn, Christian
; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael
; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000097767 |
| Veranstaltung | Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2014), Berlin, Deutschland, 21.09.2014 – 23.09.2014 |