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Room temperature deposited NbN/AlN/NbN trilayers on different substrates for Josephson Junctions

Merker, Michael; Bohn, Christian; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000097767
Veranstaltung Tagung Kryoelektronische Bauelemente (Kryo 2014), Berlin, Deutschland, 21.09.2014 – 23.09.2014
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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