NbN/AlN/NbN Josephson junction fabrication on oxidized silicon substrates
Merker, Michael; Bohn, Christian
; Marholz, Malte; Schmid, Alexander; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael
; Marholz, Malte; Schmid, Alexander; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000097769 |
| Veranstaltung | Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2015), Warberg, Deutschland, 27.09.2015 – 29.09.2015 |