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NbN/AlN/NbN Josephson junction fabrication on oxidized silicon substrates

Merker, Michael; Bohn, Christian; Marholz, Malte; Schmid, Alexander; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000097769
Veranstaltung Tagung Kryoelektronische Bauelemente (Kryo 2015), Warberg, Deutschland, 27.09.2015 – 29.09.2015
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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