NbN/AlN/NbN technology on sapphire substrates for SIS based THz receivers
Merker, Michael; Schmid, Alexander; Bohn, Christian
; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael
; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000097776 |
| Veranstaltung | 29th IEEE International Symposium on Space Terahertz Technology (ISSTT 2018), Pasadena, CA, USA, 26.03.2018 – 28.03.2018 |