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NbN/AlN/NbN technology on sapphire substrates for SIS based THz receivers

Merker, Michael; Schmid, Alexander; Bohn, Christian; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Jahr 2018
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000097776
Veranstaltung 29th IEEE International Symposium on Space Terahertz Technology (ISSTT 2018), Pasadena, CA, USA, 26.03.2018 – 28.03.2018
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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