| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 08.2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0143-0807, 1361-6404 KITopen-ID: 1000098209 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | European journal of physics |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 40 |
| Heft | 5 |
| Seiten | Article no: 055302 |
| Vorab online veröffentlicht am | 23.08.2019 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |