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Shape memory alloy based controllable multi-port microvalve

Megnin, Christof; Moradi, Bahman; Zuern, Jannik; Ossmer, Hinnerk; Gueltig, Marcel; Kohl, Manfred



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-019-04614-w
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 1000098398
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01)
Erschienen in Microsystem technologies
Vorab online veröffentlicht am 17.09.2019
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