The effect of annealing on mechanical properties and constitution of TiC:H and TiC/a-C:H thin films deposited by high power impulse magnetron sputtering

Poltorak, Christian; Leiste, Harald; Mikulla, Christoph; Rinke, Monika; Wantzen, Knut; Pavlides, Constantino; Burger, Wolfgang; Albers, Albert; Stüber, Michael; Ulrich, Sven

The effect of annealing on mechanical properties and constitution of TiC:H and TiC/a-C:H thin films deposited by high power impulse magnetron sputtering

Poltorak, Christian; Leiste, Harald; Mikulla, Christoph; Rinke, Monika; Wantzen, Knut; Pavlides, Constantino; Burger, Wolfgang; Albers, Albert; Stüber, Michael; Ulrich, Sven

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp	Poster
Publikationsjahr	2017
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000098455
Veranstaltung	8th International Conference on Fundamentals and Applications of HIPIMS (2017), Braunschweig, Deutschland, 13.06.2017 – 14.06.2017

Repository KITopen

The effect of annealing on mechanical properties and constitution of TiC:H and TiC/a-C:H thin films deposited by high power impulse magnetron sputtering