Measurement of ellipsometric data and surface orientations by modulated circular polarized light / Messung von ellipsometrischen Daten und Oberflächenorientierungen durch moduliertes zirkular polarisiertes Licht
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 09.2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2196-7113, 0171-8096 KITopen-ID: 1000098496 |
| Erschienen in | Technisches Messen |
| Verlag | De Gruyter |
| Band | 86 |
| Heft | s1 |
| Seiten | 32–36 |
| Vorab online veröffentlicht am | 27.08.2019 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |