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Measurement of ellipsometric data and surface orientations by modulated circular polarized light / Messung von ellipsometrischen Daten und Oberflächenorientierungen durch moduliertes zirkular polarisiertes Licht

Chen, Chia-Wei; Hartrumpf, Matthias; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1515/teme-2019-0047
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Zitationen: 2
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 09.2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2196-7113, 0171-8096
KITopen-ID: 1000098496
Erschienen in Technisches Messen
Band 86
Heft s1
Seiten 32–36
Vorab online veröffentlicht am 27.08.2019
Nachgewiesen in Web of Science
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