Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-72812-007-2 ISSN: 2167-0021 KITopen-ID: 1000098648 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII) |
Veranstaltung | 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors (TRANSDUCERS & EUROSENSORS 2019), Berlin, Deutschland, 23.06.2019 – 27.06.2019 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 1467-1470 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |