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Vision system-based inspection and alignment of laminated polymer films for 3D-integration of microsystems

Elkaseer, Ahmed; Salem, Mahmoud; Hagenmeyer, Veit; Scholz, Steffen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000099086
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01)
Printed Materials and Systems
Veranstaltung 8th / 11th IFAC Symposium on Mechatronic Systems and IFAC Symposium on Nonlinear Control Systems (MECHATRONICS / NOLCOS 2019), Wien, Österreich, 04.09.2019 – 06.09.2019
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