Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 07.11.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1616-301X, 1616-3028 KITopen-ID: 1000099133 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced functional materials |
Verlag | Wiley-VCH Verlag |
Band | 29 |
Heft | 45 |
Seiten | Art.Nr. 1905745 |
Vorab online veröffentlicht am | 03.09.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |