| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1047-6938, 1541-3721 KITopen-ID: 1000099402 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Optics & photonics news |
| Band | 30 |
| Heft | 10 |
| Seiten | 28-36 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |