Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1047-6938, 1541-3721 KITopen-ID: 1000099402 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics & photonics news |
Band | 30 |
Heft | 10 |
Seiten | 28-36 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |