| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 08.2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1749-4885, 1749-4893 KITopen-ID: 1000099448 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Nature photonics |
| Verlag | Nature Research |
| Band | 13 |
| Heft | 8 |
| Seiten | 519–524 |
| Vorab online veröffentlicht am | 15.07.2019 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |