Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 08.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1749-4885, 1749-4893 KITopen-ID: 1000099448 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Nature photonics |
Verlag | Nature Research |
Band | 13 |
Heft | 8 |
Seiten | 519–524 |
Vorab online veröffentlicht am | 15.07.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |