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Application of DOE in confocal microscopy for surface measurement

Li, Zheng; Taphanel, M.; Längle, T.; Beyerer, Jürgen

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1117/12.2531610
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Zitationen: 1
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Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-5106-2981-3
ISSN: 0277-786X
KITopen-ID: 1000099535
Erschienen in Photonics and Education in Measurement Science 2019. Ed.: M. Rosenberger
Veranstaltung Joint TC1 - TC2 International Symposium on Photonics and Education in Measurement Science (2019), Jena, Deutschland, 17.09.2019 – 19.09.2019
Verlag Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Seiten Art.-Nr.: 1114411
Serie Proceedings of SPIE ; 11144
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