Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0734-2101, 1520-8559 KITopen-ID: 1000099763 |
HGF-Programm | 34.13.01 (POF III, LK 01) Material f.therm.,mechan.u.Umweltbelast. |
Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / A |
Verlag | American Vacuum Society |
Band | 37 |
Heft | 6 |
Seiten | Article No.060802 |
Vorab online veröffentlicht am | 24.10.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |