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Phase masks for electron microscopy fabricated by thermal scanning probe lithography

Hettler, Simon; Radtke, L.; Grünewald, Lukas; Lisunova, Y.; Peric, O.; Brugger, J.; Bonanni, S.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.micron.2019.102753
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Zitationen: 4
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Zitationen: 2
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Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0047-7206, 0968-4328, 1878-1152, 1878-4291
KITopen-ID: 1000100014
Erschienen in Micron
Verlag Elsevier
Band 127
Seiten Art.-Nr.: 102753
Nachgewiesen in Scopus
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