Phase masks for electron microscopy fabricated by thermal scanning probe lithography
Hettler, Simon 1; Radtke, L. 2; Grünewald, Lukas
1; Lisunova, Y.; Peric, O.; Brugger, J.; Bonanni, S.
1 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Center for Functional Nanostructures (CFN), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Lisunova, Y.; Peric, O.; Brugger, J.; Bonanni, S.1 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Center for Functional Nanostructures (CFN), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0047-7206, 0968-4328, 1878-1152, 1878-4291 KITopen-ID: 1000100014 |
| Erschienen in | Micron |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 127 |
| Seiten | Art.-Nr.: 102753 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science OpenAlex |