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Phase masks for electron microscopy fabricated by thermal scanning probe lithography

Hettler, Simon 1; Radtke, L. 2; Grünewald, Lukas ORCID iD icon 1; Lisunova, Y.; Peric, O.; Brugger, J.; Bonanni, S.
1 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Center for Functional Nanostructures (CFN), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.micron.2019.102753
Scopus
Zitationen: 6
Web of Science
Zitationen: 3
Dimensions
Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0047-7206, 0968-4328, 1878-1152, 1878-4291
KITopen-ID: 1000100014
Erschienen in Micron
Verlag Elsevier
Band 127
Seiten Art.-Nr.: 102753
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
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