| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 12.2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2055-7434 KITopen-ID: 1000100055 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Microsystems & nanoengineering |
| Verlag | Springer Nature [academic journals on nature.com] |
| Band | 5 |
| Heft | 1 |
| Seiten | Article no: 61 |
| Vorab online veröffentlicht am | 18.11.2019 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Web of Science Scopus |