Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 12.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2055-7434 KITopen-ID: 1000100055 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Microsystems & nanoengineering |
Verlag | Springer Nature [academic journals on nature.com] |
Band | 5 |
Heft | 1 |
Seiten | Article no: 61 |
Vorab online veröffentlicht am | 18.11.2019 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |