Nanowire single-photon detectors made of atomic layer-deposited niobium nitride
Knehr, E. 1; Kuzmin, A.
1; Vodolazov, D. Yu; Ziegler, M.; Doerner, S. 1; Ilin, K. 1; Siegel, M. 1; Stolz, R.; Schmidt, H.
1 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Vodolazov, D. Yu; Ziegler, M.; Doerner, S. 1; Ilin, K. 1; Siegel, M. 1; Stolz, R.; Schmidt, H.1 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0953-2048, 1361-6668 KITopen-ID: 1000100836 |
| Erschienen in | Superconductor science and technology |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 32 |
| Heft | 12 |
| Seiten | Article No.125007 |
| Vorab online veröffentlicht am | 25.10.2019 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |