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Nanowire single-photon detectors made of atomic layer-deposited niobium nitride

Knehr, E. 1; Kuzmin, A. ORCID iD icon 1; Vodolazov, D. Yu; Ziegler, M.; Doerner, S. 1; Ilin, K. 1; Siegel, M. 1; Stolz, R.; Schmidt, H.
1 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/1361-6668/ab48d7
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0953-2048, 1361-6668
KITopen-ID: 1000100836
Erschienen in Superconductor science and technology
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 32
Heft 12
Seiten Article No.125007
Vorab online veröffentlicht am 25.10.2019
Nachgewiesen in Scopus
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