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Nanowire single-photon detectors made of atomic layer-deposited niobium nitride

Knehr, E.; Kuzmin, A.; Vodolazov, D. Yu; Ziegler, M.; Doerner, S.; Ilin, K.; Siegel, M.; Stolz, R.; Schmidt, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0953-2048, 1361-6668
KITopen-ID: 1000100836
Erschienen in Superconductor science and technology
Band 32
Heft 12
Seiten Article No.125007
Vorab online veröffentlicht am 25.10.2019
Nachgewiesen in Web of Science
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