| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000104287 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Umfang | 23 S. |
| Nachgewiesen in | arXiv |
| Relationen in KITopen |