Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000104287 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Umfang | 23 S. |
Nachgewiesen in | arXiv |
Relationen in KITopen |