| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-5090-0 KITopen-ID: 1000105419 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28.-30. Oktober 2019 in Berlin |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 130 - 133 |