Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-5090-0 KITopen-ID: 1000105427 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28.-30. Oktober 2019 in Berlin |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 408 - 411 |