Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Physikalische Chemie (IPC) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 12.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2041-1723 KITopen-ID: 1000105465 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Nature Communications |
Verlag | Nature Research |
Band | 10 |
Heft | 1 |
Seiten | Art. Nr.: 5775 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Vorab online veröffentlicht am | 18.12.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |