| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Technische Chemie und Polymerchemie (ITCP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1616-301X, 1616-3028 KITopen-ID: 1000105583 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Advanced functional materials |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Band | 30 |
| Heft | 26 |
| Seiten | Art.-Nr.: 1907795 |
| Vorab online veröffentlicht am | 22.01.2020 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |