| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 01.2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-2101, 1520-8559 KITopen-ID: 1000105719 |
| HGF-Programm | 34.13.01 (POF III, LK 01) Material f.therm.,mechan.u.Umweltbelast. |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / A |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 38 |
| Heft | 1 |
| Seiten | Article No.013401 |
| Vorab online veröffentlicht am | 16.12.2019 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex Web of Science |