Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 01.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0734-2101, 1520-8559 KITopen-ID: 1000105719 |
HGF-Programm | 34.13.01 (POF III, LK 01) Material f.therm.,mechan.u.Umweltbelast. |
Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / A |
Verlag | American Vacuum Society |
Band | 38 |
Heft | 1 |
Seiten | Article No.013401 |
Vorab online veröffentlicht am | 16.12.2019 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |