Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2331-7019 KITopen-ID: 1000105744 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review applied |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 13 |
Heft | 1 |
Seiten | Article No.014061 |
Vorab online veröffentlicht am | 29.01.2020 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |