Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 24.01.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0031-9007, 1079-7114, 1092-0145 KITopen-ID: 1000105859 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review letters |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 124 |
Heft | 3 |
Seiten | Article: 033201 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |
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