Strukturierung mit dem Elektronenstrahlschreiber
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Audio & Video |
| Publikationsdatum | 08.08.2011 |
| Erstellungsdatum | 01.08.2011 |
| Sprache | Deutsch |
| DOI | 10.5445/DIVA/2011-338 |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000110107 |
| Lizenz | KITopen-Lizenz |