| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Audio & Video |
| Publikationsdatum | 09.02.2015 |
| Erstellungsdatum | 03.02.2015 |
| Sprache | Deutsch |
| DOI | 10.5445/DIVA/2015-74 |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000112822 |
| Lizenz | KITopen-Lizenz |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Serie | Campus-Report |
| Folge | 683 |