| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Audio & Video |
| Publikationsdatum | 10.09.2018 |
| Erstellungsdatum | 11.09.2018 |
| Sprache | Deutsch |
| DOI | 10.5445/DIVA/2018-658 |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000115856 |
| Lizenz | Creative Commons Namensnennung 4.0 International |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Serie | Campus-Report |
| Folge | 867 |