Development and co-integration of a SMA/Si bimorph nanoactuator for Si photonic circuits
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 03.2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000117477 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 225 |
| Seiten | Article: 111257 |
| Schlagwörter | 2017-018-018909 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |