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Development and co-integration of a SMA/Si bimorph nanoactuator for Si photonic circuits

Rastjoo, Sanaz; Fechner, Randy; Bumke, Lars; Kötz, Mirko; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred

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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 03.2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0167-9317
KITopen-ID: 1000117477
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01)
Functionality by Design
Erschienen in Microelectronic engineering
Band 225
Seiten Article: 111257
Nachgewiesen in Web of Science
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