3D Laser Nanoprinting
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-72813-580-9 ISSN: 1084-6999 KITopen-ID: 1000119472 |
| Erschienen in | 2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) |
| Veranstaltung | 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2020), Vancouver, Kanada, 18.01.2020 – 22.01.2020 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 249-251 |
| Vorab online veröffentlicht am | 06.04.2020 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |