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3D Laser Nanoprinting

Wegener, M.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMS46641.2020.9056138
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-72813-580-9
ISSN: 1084-6999
KITopen-ID: 1000119472
Erschienen in 2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Veranstaltung 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2020), Vancouver, Kanada, 18.01.2020 – 22.01.2020
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Seiten 249-251
Vorab online veröffentlicht am 06.04.2020
Nachgewiesen in Scopus
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